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AGRU PFA Innenauskleidung für Ultra High Purity Behälter

Ort: Vereinigte Staaten von Amerika
Projekt: Herstellung von 6 Stk. Dual-Laminat Behältern (Ø 3,0 m, Höhe ca. 4,0 m)
Produkt: 325 m² AGRU PFA GGS Platten mit einer Dicke von 2,3 mm
Medium: H2SO4, H2O2, K2CO3, HNO3, NH3, HF
Temperatur: bis zu 50°C
Verarbeiter: Composites & Metal Products USA, North East, Maryland USA

AGRU PFA GGS Platten wurden aufgrund der nahezu universellen Chemikalienbeständigkeit und wegen dem geringen Auslaugverhalten ausgewählt.

Anwendung

In der Halbleiterindustrie werden große Mengen an hochreinen Chemikalien benötigt. Viele davon sind extrem korrosiv. Die Behälter sind ausgelegt für eine Temperatur von bis zu 50 °C und müssen den hochaggressiven Chemikalien Schwefelsäure (H2SO4), Wasserstoffperoxid (H2O2), Kaliumkarbonat (K2CO3), Salpetersäure (HNO3), Ammoniak (NH3) und Flusssäure (HF) dauerhaft standhalten.

Lösung

Die optimale Lösung war die Behälter aus glasfaserverstärktem Kunststoff (GFK) mit einer Innenauskleidung aus PFA zu fertigen. Während das GFK für die Festigkeit sorgt, ist das PFA vollkommen widerstandsfähig gegen die Chemikalien. PFA wurde ausgewählt, da es über eine nahezu universelle Chemikalienbeständigkeit verfügt und gleichzeitig durch geringste Auslaugungen die Reinheit der gelagerten Medien sichergestellt ist.

Die Behälter müssen hoch aggressiven

Chemikalien Stand halten.

Ende 2015 wurden rund 325 m² AGRU PFA GGS Platten mit 2,3 mm Dicke an Composites & Metal Products geliefert. Auf Grund des hohen Zeitdrucks erfolgte der Versand per Luftfracht nach Philadelphia.

Im ersten Quartal 2016 wurden die AGRU PFA Platten für die 6 Behälter verarbeitet. Composites & Metal Products verlegte die Innenauskleidung mit einer selbstentwickelten Schweißmethode, die es ermöglicht Verbindungen ohne Schweißwulst herzustellen. Durch die erzeugte Schweißnahtgeometrie kann eine einfache Reinigung und Entwässerung des Behälters sichergestellt werden, wodurch eine Kontamination der UHP-Chemikalien verhindert wird. Um die High Purity Qualität des Behälters zu gewährleisten wurden alle Schweißungen unter Reinstraumbedinungen durchgeführt.

Vorteile:

  • AGRU PFA GGS Gestricke weisen eine hervorragende Thermoformbarkeit sowie hohe Haftfestigkeit zum GFK auf.
  • AGRU PFA GGS hat eine außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Säuren, Basen und Lösungsmittel.
  • Extrem geringes Auslaugverhalten des Materials ermöglicht die Lagerung von “Ultra High Purity” Chemikalien.
  • Thermogeformter Behälterboden ermöglicht die Reduzierung des Schweißaufwandes.
  • Durch die Dual–Laminat-Anwendung kann eine mögliche Kontamination der UHP-Chemikalien im Vergleich zu einem Stahlbehälter ausgeschlossen werden.